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多晶硅生长炉炉体
由上炉体和下炉体组成。内壁镜面抛光,内胆为SS316L,外壁为SS304L。双层水冷结构,内壁均为双面焊并经充分的去应力处理及严格的质量检验。内壁镜面抛光,外壁可根据用户要求进行亚光,喷吵或喷漆处理。
 
上炉体
主炉体分别设有左右电极套和前后电极套,提升前后导杆固定座,热电偶孔座,测压接头座,排气口等,来分别确保多晶生长条件的各个需求。
 
下炉体
内部设有石墨碳棒支座和预留口,中心热电偶座,上下炉筒紧密配合,从而达到最佳多晶生长能力。
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