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单晶炉炉体

 

单晶硅生长炉炉体
 
该部分是炉子的心脏部件。 内装炉子的热系统,坩埚和硅料等。主炉室由炉底板,炉底,炉盖,翻板箱,主室及副室组成。内胆为SS316L,外壁为SS304L。双层水冷结构,内壁均为双面焊并经充分地去应力处理及严格的质量检验。内壁镜面抛光,外壁可根据用户要求进行亚光,喷吵或喷漆处理。炉底板与炉底之间,主室与炉底之间,以及副室与炉盖之间均有止口定位,以保证每次合炉的准确性。
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