常州市孟河制药化工机械厂

我公司颁发2011年度孟河光电奖、助学金

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单晶炉炉体

单晶硅生长炉炉体

该部分是炉子的心脏部件。内装炉子的热系统，坩埚和硅料等。主炉室由炉底板，炉底，炉盖，翻板箱，主室及副室组成。内胆为SS316L,外壁为SS304L。双层水冷结构，内壁均为双面焊并经充分地去应力处理及严格的质量检验。内壁镜面抛光，外壁可根据用户要求进行亚光，喷吵或喷漆处理。炉底板与炉底之间，主室与炉底之间，以及副室与炉盖之间均有止口定位，以保证每次合炉的准确性。